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press release

2019.07.02 次世代MEMSセンサー・アクチュエーター向けPZT圧電薄膜スパッタリング技術の高度化を実現、量産装置の販売を開始 ―スマート社会を実現するテクノロジー進化に大きく貢献― （292KB）